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上海光氧催化設備利用高能高臭氧UV紫外線光束分解空氣中的氧分子產生游離氧，即活性氧，因游離氧所攜正負電子不平衡所以需與氧分子結合，進而生成臭氧；

UV＋O2→O-+O＊(活性氧)O+O2→O3(臭氧)，臭氧與呈游離狀態污染物質原子聚合，生成新的、無害或低害物質，如CO2、H2O等。同時在污染體系中投加一定量的光敏半導體材料，結合一定量的光輻射，使光敏半導體在光的照射下激發產生電子-空穴對，吸附在半導體上的溶解氧、水分子等與電子-空穴作用，產生·HO等氧化性極強的自由基，再通過與污染物之間的羥基加和、取代、電子轉移等式污染物全部或接近全部氧化。