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VOC廢氣處理選用微波驅動，微波能激活紫外燈發射紫外光照射光觸媒(比如TiO2等） 催化床，催化基內形成電子空穴，俘獲O2氧氣分子及H2O水分子的電子，活化為強氧化性基團羥基自由基·OH、負氧離子O2-及臭氧O3，利用此類強氧化性基團的瞬間強氧化性將氣流中及被催化床吸附的有機污染物氧化分解為水H2O、二氧化碳CO2。少量殘余的臭氧及VOC再通過末端的同步解析裝置中的材料吸附并在微波能的催化作用下，進一步強化氧化反應通透度，最后分解為水H2O、二氧化碳CO2等。從而實現持續高效凈化VOC 的目標。